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超高面形光学元件
- 离子束加工技术（IBF）被认为是当今最精确的光学表面面形修正技术。真空中，利用加速的高斯型离子束轰击光学元件表面，通过物理溅射在材料表面实现原子尺度的去除。采用ZYGO干涉仪监测光学元件的面形，将测量的数据导入离子束加工设备进行模拟，根据局部面形的不同，控制离子束光斑在工件表面上驻留时间，从而精确加工出超高面形。
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离子束与磁流变加工技术
离子束加工技术（IBF）被认为是当今最精确的光学表面面形修正技术。真空中，利用加速的高斯型离子束轰击光学元件表面，通过物理溅射在材料表面实现原子尺度的去除。采用ZYGO干涉仪监测光学元件的面形，将测量的数据导入离子束加工设备进行模拟，根据局部面形的不同，控制离子束光斑在工件表面上驻留时间，从而精确加工出超高面形。
而磁流变抛光就是利用抛光液在梯度磁场中发生流变而形成的具有粘塑行为的柔性“小磨头”与工件之间具有快速的相对运动，使工件表面受到很大的剪切力，从而使工件表面材料被去除。它是接触式抛光却无亚表面损伤，也是通过测试数据导入磁流变设备进行拟合，实现确定性加工。
福晶科技的离子束与磁流变加工设备可加工外径600mm的大尺寸光学元件，适用于各种光学材料的面形精确控制。
- 原子级去除稳定性好
- 无接触加工、无边缘应力效应
- 可加工平面、球面、非球面等光学元件
- 面形精度可实现PV<λ/40
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