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福建福晶科技股份有限公司正式申报“维科杯-OFweek2017中国激光行业年度评选”

福建福晶科技股份有限公司正式申报“维科杯-OFweek2017中国激光行业年度评选”

2017-07-25 14:04

由OFweek中国高科技行业门户主办,OFweek激光网承办的“维科杯-OFweek2017中国激光行业年度评选活动”已开始评选申报,最终获奖结果将于9月7日在深圳举办的“OFweek 2017(第十三届)中国先进激光技术及应用研讨会暨行业年度评选颁奖典礼”上公布。

本次评选以其公正、客观的评选流程备受业界广泛关注,已成为中国高科技领域最具专业性、影响力和代表性的行业评选!目前,此次评选正处于火热的报名评审阶段,国内外激光企业反馈积极,纷纷报名参评。其中,福建福晶科技股份有限公司已经正式申报“维科杯-最佳激光仪器及配套技术创新奖”。

一、维科杯-最佳激光仪器及配套技术创新奖

申报产品:深紫外CLBO(硼酸铯锂)晶体

产品简介:CLBO晶体是一种新兴的具有优良深紫外非线性特性的晶体材料,主要应用于半导体检测,显微光刻技术,生物医学,紫外雷达等领域。CLBO晶体具有光谱范围宽,温度容差大,角度大,离散角小,转换效率高等优点,因此其在紫外波段是非常出众的谐波发生器(Nd:YAG激光器的4HG & 5HG,一类SHG波长可达237nm)。

产品创新:CLBO晶体的短波截止波长可达180nm;有效非线性系数大,约为KDP晶体的2倍;激光损伤阈值高,在266nm波长下比熔石英至少高1.7倍。相比同类型的硼酸盐晶体BBO,CLBO转换效率高,透光范围更宽(180nm-2750nm),是深紫外(DUV)激光器的关键晶体材料。

参评理由:CLBO最早是日本Oxide公司的专利产品(专利于2017年1月已到期),但Oxide公司晶体生产技术不成熟,另外该晶体极易潮解,非常难加工,Oxide公司没有自己的抛光技术,更不能提供镀膜产品。所以长期以来CLBO晶体产能小,交期长,价格昂贵,极大限制了CLBO的工业应用推广和深紫外激光技术发展。经过多年潜心研发,福晶科技已能够生长出比Oxide公司尺寸更大的高品质晶体毛坯,毛坯最大截面尺寸可达100mm×65mm;此外,福晶科技开发出专有的CLBO无水抛光技术,加工指标优良:光洁度S/D:10/5,垂直度≤15′,平行度≤20″ ,波前畸变:λ/4,平面度:λ/8。同时还在世界首次开发出CLBO紫外镀膜技术, 膜指标:AR-532/266nm,R<0.2% @532nm,R<0.5%@266nm。福晶科技目前可按客户要求提供一系列高品质的CLBO抛光,镀膜及封装产品,价格仅不到Oxide公司价格1/2,将极大推动266nm等深紫外激光的工业应用发展。

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