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超高面形光学元件
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离子束加工技术
离子束加工技术（IBF）被认为是当今最精确的光学表面面形修正技术。真空中，利用加速的高斯型离子束轰击光学元件表面，通过物理溅射在材料表面实现原子尺度的去除。采用ZYGO干涉仪监测光学元件的面形，将测量的数据导入离子束加工设备进行模拟，根据局部面形的不同，控制离子束光斑在工件表面上驻留时间，从而精确加工出超高面形。
福晶科技的离子束加工设备可加工外径300mm的大尺寸光学元件，适用于各种光学材料的面形精确控制。
● 原子级去除稳定性好
● 无接触加工、无边缘应力效应
● 可加工平面、球面、非球面等光学元件
● 面形精度可实现PV<λ/40
高精度面形测量：4D干涉仪（FizCam 2000） 平行度、波前和平面度测量： ZYGO干涉仪
测量精度：：λ/40 平行度测量精度：0.5〃
波前和平面度测量精度： λ/50
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