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特色12
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  • 超高面形光学元件

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离子束加工技术

  离子束加工技术(IBF)被认为是当今最精确的光学表面面形修正技术。真空中,利用加速的高斯型离子束轰击光学元件表面,通过物理溅射在材料表面实现原子尺度的去除。采用ZYGO干涉仪监测光学元件的面形,将测量的数据导入离子束加工设备进行模拟,根据局部面形的不同,控制离子束光斑在工件表面上驻留时间,从而精确加工出超高面形。

 福晶科技的离子束加工设备可加工外径300mm的大尺寸光学元件,适用于各种光学材料的面形精确控制。

 

原子级去除稳定性好
无接触加工、无边缘应力效应
可加工平面、球面、非球面等光学元件
面形精度可实现PV<λ/40
 
 
 
                                                 

                          高精度面形测量:4D干涉仪(FizCam 2000)               平行度、波前和平面度测量: ZYGO干涉仪

                                    测量精度::λ/40                                        平行度测量精度:0.5

                                                                                                        波前和平面度测量精度: λ/50

 
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