精密光学元件
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材料: 熔融石英或其他客户指定材料
尺寸规格：φ 5~200 mm
通光孔径：可定制（典型CA 90%)
面形：RMSi<20 nm
底角公差：<±0.001°
顶点圆直径：φ1 mm
提供标准膜系或根据客户需求定制膜系
高激光损伤阈值
尺寸规格：φ 5~200 mm
通光孔径：可定制（典型CA 90%)
面形：RMSi<20 nm
底角公差：<±0.001°
顶点圆直径：φ1 mm
提供标准膜系或根据客户需求定制膜系
高激光损伤阈值
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材料：单晶硅、熔融石英
尺寸规格：可定制
通光孔径：可定制
平面度：λ/10 @632.8 nm
光洁度：10/5 S/D
提供标准膜系或根据客户需求定制膜系
超大接收角
高激光损伤阈值
尺寸规格：可定制
通光孔径：可定制
平面度：λ/10 @632.8 nm
光洁度：10/5 S/D
提供标准膜系或根据客户需求定制膜系
超大接收角
高激光损伤阈值
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离子束加工技术（IBF）被认为是当今最精确的光学表面面形修正技术。真空中，利用加速的高斯型离子束轰击光学元件表面，通过物理溅射在材料表面实现原子尺度的去除。采用ZYGO干涉仪监测光学元件的面形，将测量的数据导入离子束加工设备进行模拟，根据局部面形的不同，控制离子束光斑在工件表面上驻留时间，从而精确加工出超高面形。
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