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双频干涉仪
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双频干涉仪

双频干涉仪的原理是基于纵向塞曼效应双频激光原理,利用被测目标对被反射激光的多普勒频移效应工作,通过灵活搭建迈克尔逊干涉光路,实现对被测目标的相对位移、角度、直线度、平面度测量。

  • 产品描述
  • 福晶课堂
  • 测试原理

    双频干涉仪的原理是基于纵向塞曼效应双频激光原理,利用被测目标对被反射激光的多普勒频移效应工作,通过灵活搭建迈克尔逊干涉光路,实现对被测目标的相对位移、角度、直线度、平面度测量。 
     

    光路原理

    应用场景

    • 计量校准:位移、小角度、线纹、步距规、静态应变、硬度、质量等计量标准量值的复现。
    • 现场校准:精密机床、三坐标测量机、大型检测设备的现场计量、检测与校准。
    • 工业现场校准:大型工件、精密零件的测量与加工过程监测。
    • 产品开发与生产:作为可溯源位移测量元件,融入测量设备,实现工作台运动、旋转角度、导轨直线度、平台平面度、天平倾斜度、压痕深度、应变量的测量。


    产品特性

    • 633 nm稳频激光准直光源
    • 全数字硬件解调,低噪声
    • 自适应信号调理
    • 可实现非线性补偿
    • 支持多设备同步测量
    • 非接触测量
    • 干涉强度指示,辅助现场安装
    • 纳米级位移分辨力
    • 多功能测量与安装附件
    • 支持用户级二次开发

     

    应用参数:

    技术指标

    位移测量范围

    (0~40)m

    位移测量分辨力

    1nm

    位移测量精度

    ±(0.2μm+3×10-7)

    激光频率稳定度

    1×10-8

    供电要求

    220VAC50Hz

    电磁兼容性

    符合GJB3947A-20093.9.1

    储存温度范围

    -40℃~70℃

    工作温度范围

    18℃~22℃

     

     测试方式:

     

    位移测量

    小角度测量

    直线度测量

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