双频干涉仪
双频干涉仪的原理是基于纵向塞曼效应双频激光原理,利用被测目标对被反射激光的多普勒频移效应工作,通过灵活搭建迈克尔逊干涉光路,实现对被测目标的相对位移、角度、直线度、平面度测量。
- 产品描述
- 福晶课堂
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测试原理:
双频干涉仪的原理是基于纵向塞曼效应双频激光原理,利用被测目标对被反射激光的多普勒频移效应工作,通过灵活搭建迈克尔逊干涉光路,实现对被测目标的相对位移、角度、直线度、平面度测量。

光路原理
应用场景

- 计量校准:位移、小角度、线纹、步距规、静态应变、硬度、质量等计量标准量值的复现。
- 现场校准:精密机床、三坐标测量机、大型检测设备的现场计量、检测与校准。
- 工业现场校准:大型工件、精密零件的测量与加工过程监测。
- 产品开发与生产:作为可溯源位移测量元件,融入测量设备,实现工作台运动、旋转角度、导轨直线度、平台平面度、天平倾斜度、压痕深度、应变量的测量。
产品特性- 633 nm稳频激光准直光源
- 全数字硬件解调,低噪声
- 自适应信号调理
- 可实现非线性补偿
- 支持多设备同步测量
- 非接触测量
- 干涉强度指示,辅助现场安装
- 纳米级位移分辨力
- 多功能测量与安装附件
- 支持用户级二次开发
应用参数:
技术指标
位移测量范围
(0~40)m
位移测量分辨力
1nm
位移测量精度
±(0.2μm+3×10-7)
激光频率稳定度
1×10-8
供电要求
220VAC50Hz
电磁兼容性
符合GJB3947A-20093.9.1
储存温度范围
-40℃~70℃
工作温度范围
18℃~22℃
测试方式:


位移测量
小角度测量

直线度测量
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